顯微分光膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種薄膜、涂層光學(xué)常數(shù)(nandk)和厚度的精確測(cè)量,設(shè)備分為在線和離線兩種工作模式,操作便捷,幾秒鐘內(nèi)即可完成測(cè)量和數(shù)據(jù)分析,USB連接計(jì)算機(jī)控制;薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān),因此可通過(guò)計(jì)算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無(wú)損、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù),我們的薄膜測(cè)量系統(tǒng)采用光干涉原理測(cè)量薄膜厚度。
顯微分光膜厚儀特色功能:
•使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)絕.對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
•可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
•頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能
•通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高精度絕.對(duì)反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))
•1點(diǎn)1秒高速測(cè)量
•顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外)
•區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
•易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
•獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求
•支持各種自定義
測(cè)量項(xiàng)目:
•絕.對(duì)反射率測(cè)量
•多層膜解析
•光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))