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●具有高靈敏度檢測(cè)器的寬測(cè)量范圍 ●具有紫外線自吸收校正的高精度測(cè)量 ●配備溫度控制單元，可從-110°C進(jìn)行溫度控制 ●涵蓋從紫外線到可見光的波長(zhǎng)范圍 ●電源、溫控單元、測(cè)量?jī)x軟件批量控制
采用了偏光光學(xué)系和多通道分光檢出器 有可對(duì)應(yīng)各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學(xué)素子到第10代的大型基板 安全對(duì)策和粒子對(duì)策，可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
采用了偏光光學(xué)系和多通道分光檢出器 有可對(duì)應(yīng)各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學(xué)素子到第10代的大型基板 安全對(duì)策和粒子對(duì)策，可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
●可在紫外和可見（250至800nm）波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)量橢圓參數(shù) ●可分析納米級(jí)多層薄膜的厚度 ●可以通過(guò)超過(guò)400ch的多通道光譜快速測(cè)量Ellipso光譜 ●通過(guò)可變反射角測(cè)量，可詳細(xì)分析薄膜 ●通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和追加菜單注冊(cè)功能，增強(qiáng)操作便利性 ●通過(guò)層膜貼合分析的光學(xué)常數(shù)測(cè)量可控制膜厚度/膜質(zhì)量
●可處理高達(dá)2400mm的直管光學(xué)總光通量測(cè)量 ●測(cè)量系統(tǒng)符合IESNA的LM-79和LM-80標(biāo)準(zhǔn) ●采用新的探測(cè)器，可以進(jìn)行廣動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)量 ●測(cè)量部分的尺寸（積分球或積分半球）從φ250毫米到φ3000毫米都能對(duì)應(yīng) ●支持LIV測(cè)量，脈沖點(diǎn)測(cè)量，樣品溫度測(cè)量 ●兼容脈沖寬度調(diào)制（PWM）調(diào)光
以透過(guò)光譜測(cè)量、色測(cè)量為代表，通過(guò)濃度測(cè)量、膜厚測(cè)量、反射光譜測(cè)量等，可對(duì)應(yīng)彩色濾光片制造工程中的所有檢查的裝置
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