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光譜系統(tǒng)
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半導體晶圓缺陷檢測儀利用亮場和暗場顯微成像技術(shù),通過自動化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。
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