產(chǎn)品中心
PRODUCTS CNTER
當(dāng)前位置：首頁
產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚OPTM series 嵌入型
產(chǎn)品簡介
利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。
產(chǎn)品分類
●膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
●膜厚值高重復(fù)精度
●1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量
●最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射
●能夠取得圖案對準(zhǔn)用圖像
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。
公司郵箱： qgao@buybm.com
服務(wù)熱線： 021-61052039
公司地址： 上海市浦東新區(qū)疊橋路456弄?jiǎng)?chuàng)研智造C7區(qū)301室
Copyright © 2025 上海波銘科學(xué)儀器有限公司 AlL Rights Reserved
備案號：滬ICP備19020138號-2
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml
關(guān)于我們
公司簡介 企業(yè)文化 榮譽(yù)資質(zhì) 聯(lián)系我們快速通道
產(chǎn)品中心 新聞中心 技術(shù)文章 在線留言推薦產(chǎn)品
OPTM 系列顯微分光膜厚儀 半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀 ELSZ-2000系列ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測試系統(tǒng) RU120便攜式拉曼光譜儀
相關(guān)文章
上一個(gè)：
返回列表