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簡要描述:● 采用分光干涉法● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專zhuan利 第4834847號)● 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)● 可嵌入至各種制造設(shè)備。● 實(shí)時(shí)測量膜厚● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
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品牌 | OTSUKA/日本大冢 |
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多層膜厚解析
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