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OP-PAI系列真蜂窩氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) ? 水平方式：自動(dòng)充氣，自動(dòng)平衡 ? 固有頻率：1～1.5Hz ? 重復(fù)定位精度：±0.10mm ? 臺(tái)面材料：SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼 ? 臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：隔離杯真蜂窩內(nèi)芯 ? 臺(tái)面厚度：100/200/250mm ? 平面度：0.1mm/600mm×600mm ? 臺(tái)面粗糙度：≤0.8μm

OP-AI系列氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) ? 固有頻率：＜1.2～2Hz ? 重復(fù)定位精度：±0.10mm ? 臺(tái)面材料：SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼 ? 臺(tái)面厚度：100/200/250mm ? 平面度：≤0.05mm/m2 ? 臺(tái)面粗糙度：≤0.8μm，局部可達(dá)0.4μm ? 氣浮支架：雙層氣室，3個(gè)真空管水平調(diào)節(jié)閥，四或六支撐腿 ? 臺(tái)面加支架總高度800mm，總高度可調(diào)范圍：-20～+20