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深能級(jí)瞬態(tài)譜儀(DLTS)是檢測(cè)半導(dǎo)體材料和器件缺陷和雜質(zhì)的最好技術(shù)手段，它可以測(cè)定各種深能級(jí)相關(guān)參數(shù)，如深能級(jí)，俘獲界面，濃度分布等。
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